甚多轴高速超精密激光干涉测量技术
哈尔滨工业大学
1成果简介
针对我国高端装备制造提出的超精密测量重大需求，突破甚多轴高速超精密激光干涉测量技术。其重大价值表现在两方面：一是作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，直接决定装备极限精度与性能；二是作为国家溯源精度最高的长度计量测试仪器，准确统一全国相关量值,并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。该技术主要用于先进光刻机，其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器，以实时测量米/秒级高速运动的掩模/硅片的相对位置，其测量精度要求已达数纳米，并将进一步突破至亚纳米量级，技术处于国际领先。
2应用领域
成功应用于光刻机领域，有力地推动了我国高端装备研发进程；应用到德国联邦物理技术研究院高精度计量装备中，促进了超精密测量领域的国际合作。
3技术指标
较传统激光干涉测量技术，本技术的仪器稳定性、测量分辨力、测量速度等核心指标均提高一个数量级以上，可在m/s级高速测量下，实现0.1nm级测量精度。
4联系方式
如有合作意向，请联系：
张老师 18913950898
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